Получен евразийский патент на изобретение «Способ формирования углеродных пленок осаждением атомов углерода в плазме метана»

Северо-Восточным федеральным университетом получен евразийский патент на изобретение «Способ формирования углеродных пленок осаждением атомов углерода в плазме метана» (евразийский патент № 0465066). Соавторами являются коллектив ученых Физико-технического иснтитута СВФУ Прокопьев Айсен Русланович, Неустроев Ефим Петрович.
Изобретение относится к нанотехнологиям и физике конденсированного состояния вещества и может быть использовано в синтезировании тонких углеродных пленок, применяющихся в широком спектре электронных приборов, в частности в получении высокочувствительных датчиков (сенсоров) взрывоопасных углеводородных соединений (пропан, бутан, метан и др.), а также паров этанола для определения содержания опасных концентраций в окружающей среде. Технический результат: получение углеродных пленок плазменным осаждением атомов углерода на подложку в метане при невысокой температуре, обеспечение целостности и структуры осаждаемой поверхности.